ES50B

气缸多种选择可适应不同加工工件工艺需求

特制低摩擦气缸，非一般市场售品气缸，缸径粗壮，克服气缸轴的偏摆；适合大压力长时间加工的工件（如蓝宝石，碳化硅）

也可以选择使用进口品牌气缸，摩擦系数佳，可实现 P.P 盘缓慢轻压落盘，满足加工脆薄工件的需求

多段压控制，压力控制更精准更稳定，保证无法承受高压力的工件也能顺利加工

P.P 盘自动定位机构 ，方便人员上下料

4 个 P.P 盘独立控制可四轴同时加工也可单个 P.P 独立加工

4 个 P.P 盘变频电机强制驱动，P.P 转速可调

4 个 P.P 盘可以于两侧分别单独操作，也可以在触摸屏中集中操作

4 个 P.P 盘分别有独立稳压系统

4 个 P.P 盘可以实现“快下降、缓下降、缓上升、快上升”

P.P 着盘压力可控，保证无法承受高压力晶片的加工

P.P 单头压力可达 350Kg( 可扩展 )，压力可在触摸屏中监控和调整

P.P 盘真空吸附和破真空系统，防止粘陶瓷盘，方便上下料

P.P 盘水冷结构，防止加工物和 PP 盘发热有效的控制了加工工件的温度达到最理想化的加工状态

下定盘带有自动水冷机构，防止加工物和定盘发热，通过恒温冷水的流动实现定盘温度的恒定，并可通过红外温度传感器在触摸屏中监控

PLC + 15 寸人机界面实现操控自动化，可储存 20 个不同工艺程序，实现速度和压力的智能化控制，便于人员操作和产品合格率的稳定

7,500 kg

0.4KW×4 1.6KW PP 头驱动电机

22KW 下定盘驱动电机

380V/50Hz

0 ~ 90 RPM

0–80 RPM

0.6 MPa

4”片 单 P.P 10 片 4P.P 40 片

6”片 单 P.P 6 片 4P.P 24 片

8”片 单 P.P 3 片 4P.P 12 片

15 ~ 35 ℃

湿度：85% 以下，污水凝结

空气质量：无腐蚀性、无可燃性、有害性气体、无污染物、灰尘等等